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　　目前全球半导体干式真空泵制造企业主要由海外供应商所主导，欧美日企业占据整个市场90%以上的份额，国产化率目前较低，海外主要生产企业包括Atlas、Ebara、普发真空等。其中，Atlas成立于1873年，公司主要业务为工业干泵、化学干泵、涡轮分子泵、液体阀门等，2014年公司收购Edwards，2016年公司收购Leybold及CSK，成为全球真空泵龙头企业；普发线年，是全球真空技术和泄漏检测解决方案龙头供应商之一，其高性能产品组合涵盖了从真空泵到测量分析设备再到整套真空系统，普发真空在半导体制造领域提供多种真空泵解决方案，包含罗茨真空泵、旋片泵、涡轮泵等；Ebara主要产品为干式真空泵、CMP 设备、电镀设备、废气处理设备。

　　控制阀主要通过缩小或加宽气门通道来控制气液体的体积流量，主要包含钟摆阀、蝶阀及球阀，其中：1）钟摆阀基于钟摆运动原理来控制流体的流动，当阀门处于开启状态时，气体可以自由流动，当阀门没有外力作用时，受到重力影响会向下摆动处于关闭状态，阻止气体自由流动，具有设计紧凑、振动小、启闭平稳、能有效避免产生颗粒的特点，被广泛用作控制阀，多用于线）蝶阀阀体呈圆筒形，轴向长度短，内置蝶板，利用圆盘的启闭件往复回转90来开启、关闭或调节气体流量的一种阀门，具有结构简单、体积小、重量轻、开关迅速、力矩较小的特点；3）球阀的启闭件是中间带有圆形通道的球体，可以绕垂直于通道的轴线旋转，而达到启闭通道的目的。球阀适用于高真空到低真空等压力范围，同时在带有腐蚀性介质的系统中也均可适用。传输阀是用于连接腔室之间的阀门，通常用于工艺腔与Load lock之间，需要保证两边腔体的密封性。